1
RHEED(核心货物)
套
是否接受进口
接受进口
品牌
无推荐品牌
型号
无推荐型号
技术规格及参数
1.1能量范围1keV-15keV 。1.2电子束电流可达30μA 。1.3工作距离150-500mm 。1.4配分析采集软件。
质保期
验收合格后12个月
售后要求
为保证售后服务质量,中标人提供报修电话及联系人,招标人保修后,24小时内响应,72小时内提供远程诊断和指导。
2
氩枪
拒绝进口
中科艾科米、典初真空、华萃仪器
AKM-YQ-2、DC-YQ-40、AG40
2.1能量范围200~3000eV连续可调。2.2束流大小最高20μA;2.3配微漏阀。
3
红外测温仪
3.1测温范围150-1800℃,3.2包含电源,安装支架。
4
前级泵
台
4.1抽速12.1m3/h,4.2进气口DN25 ISO-KF,4.3极限真空6x10-3mbar。
5
5.1抽速6.1m3/h,5.2进气口DN25 ISO-KF,5.3极限真空1.5x10-2mbar。
6
分子泵
6.1抽速67L/s,6.2进气口CF63,6.3极限真空5x10-10mbar,6.4控制器TC110。
7
7.1抽速260L/s,7.2进气口CF100,7.3极限真空5x10-10mbar,7.4控制器TC400。
8
全量程 真空计
8.1测量范围5x10-9-1000mbar,8.1法兰接口CF35,8.1测测量精度±30%。
9
复合离子泵
9.1 VacIon Plus 300,复合TSP,由离子泵和钛泵组成。9.2在20℃环境下,对氮气抽速720L/s,9.3对氢气抽速1580L/s
10
真空计
10.1 XGS600+UHV24P离子规10.2测量范围6.7x10-12-1x10-3mbar,10.3配7米可烘烤线
11
气动插板阀
11.1漏率<1x10-9mbar·L/s,11.2.使用压力范围1x10-10mbar-1.6bar11.3能在超高真空中使用
12
手动插板阀
个
12.1漏率<1x10-9mbar·L/s,12.2使用压力范围1x10-10mbar-2bar13.3能在超高真空中使用
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